洁净室通常用于科学研究和制造,以提供可控的环境来处理敏感的组件和样品。根据您的特定标准,它们可以允许不同水平的污染物,例如空气传播的微生物,灰尘,颗粒和化学蒸汽,这些污染物可以通过每立方米的颗粒数来衡量。通常将遏制措施保持在较低的级别,因为它们会极大地影响应用程序和组件。洁净室广泛用于对环境污染高度敏感的生物技术,电子装配,半导体制造,制药,医疗,工业和应用。例如,在半导体制造和制药生产中使用受控环境,因为封闭会降低产品的性能。
洁净室概述
洁净室的主要目的是通过控制空气中的颗粒物水平来保持恒定的环境。这可以通过防止颗粒和空气中的污染物进入封闭环境来实现。任何进入环境的外部空气都需要通过HEPA或ULPA过滤器进行过滤,在某些情况下,洁净室可以保持在正压状态,以使未过滤的空气不会泄漏到过滤后的环境中。另外,内部空气需要不断通过过滤器进行再循环,以去除封闭环境中产生的颗粒。单向层流气流系统将恒定的过滤空气流引入受控环境,并保持内部空气流动。多向空气运动通过将颗粒驱向地板而将其捕获在洁净室中,该颗粒进入空气流动系统并被滤除空气供应。其次,可以使用中间气闸,无尘室安全的设备/家具和无尘室衣服来限制从人员和设备到环境的颗粒通过。zui简单的措施是使用易于清洁且旨在将空气污染降至zui低的设备。进入或离开洁净室的人员经过前室,这被称为气闸室或前室。根据污染标准,该室可包括一个空气淋浴器,以在进入前室之前清除人员或物体表面的污染物。在这个房间里 人员将穿上特殊的衣服或一系列洁净室衣服,以使他们进入洁净室环境。进入或离开洁净室的人员经过前室,这被称为气闸室或前室。根据污染标准,该室可包括一个空气淋浴器,以在进入前室之前清除人员或物体表面的污染物。在这个房间中,人员将穿上特殊的衣服或一系列洁净室衣服,以使他们进入洁净室环境。所述腔室可包括空气淋浴器,以在进入前室之前从人员或物体表面去除容器。在这个房间中,人员将穿上特殊的衣服或一系列洁净室衣服,以使他们进入洁净室环境。所述腔室可包括空气淋浴器,以在进入前室之前从人员或物体表面去除容器。在这个房间中,人员将穿上特殊的衣服或一系列洁净室衣服,以使他们进入洁净室环境。
洁净室分类
洁净室是根据每立方英尺或每米0.5毫米或更大的颗粒数,根据空气的清洁程度进行分类的。根据美G联邦标准209(A至D),它们是根据每单位空气中允许的颗粒数量和大小进行分类的。例如,类别100表示每立方英尺的空气中0.5毫米或更大的粒子数。下表显示了根据美G联邦标准的各种洁净室分类:
类 |
zui大颗粒/英尺3 |
相当于ISO |
≥0.1微米 |
≥0.2微米 |
≥0.3微米 |
≥0.5微米 |
≥5微米 |
|
1个 |
35 |
7.5 |
3 |
1个 |
0.007 |
ISO 3 |
10 |
350 |
75 |
30 |
10 |
0.07 |
ISO 4 |
100 |
3,500 |
750 |
300 |
100 |
0.7 |
ISO 5 |
1,000 |
35,000 |
7,500 |
3,000 |
1,000 |
7 |
ISO 6 |
10,000 |
350,000 |
75,000 |
30,000 |
10,000 |
70 |
ISO 7 |
100,000 |
3.5×10 6 |
750,000 |
30万 |
100,000 |
830 |
ISO 8 |
美G联邦标准已于2001年11月正式取消,大多数转换为ISO-14644-1和ISO 14698标准,这些标准用于测量每立方米空气中允许的颗粒数量和大小。下表是:
类 |
zui大颗粒/ m 3 a |
相当于FED STD 209E |
≥0.1微米 |
≥0.2微米 |
≥0.3微米 |
≥0.5微米 |
≥1微米 |
≥5微米 |
|
ISO 1 |
10b |
d |
d |
d |
d |
d |
|
ISO 2 |
100 |
24 b |
10 b |
d |
d |
Ë |
|
ISO 3 |
1,000 |
237 |
102 |
35b |
d |
Ë |
1类 |
ISO 4 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 羽 |
Ë |
10级 |
ISO 5 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
d,e,f |
100级 |